支持100um超薄晶片
尼康最新的卡盘系统可以支持100μm超薄晶片。这种高水平的安全性和可靠性满足了对最新晶片的检验要求。
经过改良的晶片感应功能
晶片感应光束的最优化排列可精确检测到晶片扭曲
晶片槽按钮的设计提高了操作性
晶片槽按钮允许使用者只要按一个按钮即可选择槽中的任意晶片
高处理能力
超快的升降器,非接触式对中机构的快速正确位移、多臂系统的精确装卸晶片实现了高效晶片传送和更换
存取工具
由于搬运机配备网络服务功能,将PC连接至LAN 后可使用PC方便地创建检查处方和备份数据。
高性能检测功能及多种照明方式
结构图:
参数: